第1年
上海伯東 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340
上海伯東 磁懸浮渦輪分子泵 HiPace
HVA 高真空閘閥 高真空插板閥 11000
HVA 矩形閥 88200 系列
上海伯東 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, AS
上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 30
上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 350
HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系
上海伯東 氫氦雙檢吸槍檢漏儀 ASM 3
- 材質(zhì)：
- 不銹鋼
因產(chǎn)品配置不同，價(jià)格貨期需要電議，圖片僅供參考，一切以實(shí)際成交合同為準(zhǔn)。
HVA 3位真空閘閥 21700 系列
上海伯東 HVA 3位真空閘閥 21700 系列適用于刻蝕, CVD, 真空鍍膜和其他需要壓力控制工藝的行業(yè). HVA 3位真空閘閥與上游質(zhì)量流量控制器一起使用時(shí), 提供異常壓力控制功能, 該真空閘閥也適用于從粗真空到高真空的平穩(wěn)過渡. HVA 3位真空閘閥采用兩個(gè)氣動(dòng)電磁閥和一個(gè)空氣壓力調(diào)節(jié)器控制閥門的3種開啟方式: 一個(gè)電磁閥控制閥門的完全關(guān)閉和完全開啟, 另一個(gè)電磁閥用于控制和調(diào)節(jié)閥門的任意開啟位置. 21700 系列3位真空閘閥廣泛應(yīng)用于低溫泵, 渦輪分子泵, 及其他對(duì)清潔度要求高, 低除氣的高真空行業(yè).
HVA 3位真空閘閥 21700 系列產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 機(jī)械預(yù)設(shè), 遙控過渡閥位
2. 三個(gè)位置都有指示器
3. 標(biāo)準(zhǔn)或者定制法蘭
4. 至少一百萬使用周期
5. 任意位置安裝
HVA 3位真空閘閥 21700 系列技術(shù)參數(shù)：
閥門材質(zhì)： | |
閥門主體 | 304不銹鋼 |
焊接波紋管軸封 | AM-350 |
驅(qū)動(dòng)軸和驅(qū)動(dòng)銷 | 硬質(zhì)不繡鋼 |
閥門密封方式： | |
高真空 | 氟橡膠 |
漏率 | <2×10-9 mbar l/s |
差壓關(guān)閉 | 1 bar |
真空： | |
壓力范圍 | 高真空1x10-9 mbar |
漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
差壓關(guān)閉 | 1 bar (任意位置) |
開啟前最大壓力 | ≤ 30 mbar |
烘烤溫度（不含電磁閥）： | |
閥門主體 | 150 °c |
驅(qū)動(dòng)方式 | 氣動(dòng) 60 °c |
使用壽命：100,000啟閉次數(shù) | |
公稱通徑：DN100-320 mm | |
美國(guó) HVA 真空閥門-美國(guó)最大真空閥門制造商。美國(guó)HVA原裝進(jìn)口真空閥門，超過50年的高真空和超高真空閥門設(shè)計(jì)與制造。主營(yíng)高真空閘閥，高真空角閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜、激光、科研、工業(yè)等領(lǐng)域。上海伯東是美國(guó)HVA 真空閥門在中國(guó)地區(qū)唯一指定總代理商。
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