公司發(fā)展至今已有三個事業(yè)部：成套半導(dǎo)體裝備事業(yè)部、零部件事業(yè)部、氣體及工程事業(yè)部。成套半導(dǎo)體裝備事業(yè)部和零部件事業(yè)部目前主要對微電子所微電子設(shè)備技術(shù)研究室研發(fā)成熟的產(chǎn)品進(jìn)行銷售和產(chǎn)品服務(wù)。微電子設(shè)備技術(shù)研究室是專業(yè)從事微電子裝備技術(shù)研發(fā)的部門，擁有近30年的技術(shù)積累。研究室長期承擔(dān)國家科技重大專項等科研項目,進(jìn)行創(chuàng)新設(shè)備技術(shù)探索。

成套半導(dǎo)體裝備事業(yè)部于1986年成功研發(fā)國內(nèi)首臺多功能磁增強(qiáng)反應(yīng)離子刻蝕機(jī)，為“七五”國家重點(diǎn)科技攻關(guān)項目重要科研成果。1993年，ME-3A型多功能磁增強(qiáng)反應(yīng)離子刻蝕機(jī)獲中科院科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎。1997年，在“八五”國家重點(diǎn)科技攻關(guān)項目的支持下，研制成功國內(nèi)首臺ICP刻蝕機(jī)，并于1998年，實(shí)現(xiàn)ICP-98A刻蝕機(jī)的首臺銷售。經(jīng)過近三十年的發(fā)展，已成功研發(fā)多種型號的刻蝕機(jī)、濺射臺和PECVD機(jī)。